碳化矽是一種碳化物的意外由美國艾奇遜在1891年融合鑽石實驗發現。當時被誤認為是鑽石的混合物。因此，它被命名為埃默里。1893年，艾奇遜問世。工業上冶煉碳化矽的方法，俗稱艾奇遜爐，一直沿用至今，以含碳材料為電阻爐的核心，通電加熱石英SIO2和碳的混合物形成碳化矽。
關於碳化矽的幾個事件
1905 首次在隕石中發現碳化矽。
1907年，第一顆碳化矽晶體發光二極管誕生。
1955年，在理論和技術上的重大突破，LELY提出了不斷增長的高質量碳化，從此，SiC被視為必不可少的電子材料。
1958年第一屆世界碳化矽會議在波士頓召開，進行學術交流。
1978 1960年代和1970年代，碳化矽，主要由前蘇聯研究。到1978年，首次採用了“LELY改良技術”的穀物提純方法。
1987年至今，憑藉CREE的研究成果建立了碳化矽生產線，供應商開始提供商用碳化矽襯底。